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数据可靠
系统实现了自动远距离采样、自动富集吸收、自动质量控制、自动分析、数据自动上传全流程自动化。
避免人工误差引入，数据准确可靠。
灵敏度高
大体积进样浓缩，大幅提高系统检测能力，检出限可达亚ppt级，缩短系统运行周期。
监测面广
单套系统最多可配置32个点位的样品采集；
系统通过真空泵远距离采样，可覆盖300m范围内样品的在线监测。
设计合规
系统管路及阀组采用洁净的聚四氟乙烯材料设计，满足SEMI F57中相关析出杂质的控制要求。
吸收高效
在线双吸收模块设计，有利于节约样品分析时间，数据输出更快更高效！
