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ProRGA-7000残余气体质谱分析仪
产品概述：
ProRGA-7000是聚光科技基于质谱分析技术平台开发的一款高性能残余气体分析仪，用于检测特定真空区域内关键【jiàn】气体分压，适用于真空度【dù】10Pa到常压应用场合。具有毫秒级响应速度和ppb级的灵敏度，非常适合检测真空泄露状态，如电池、半导体、冻干机等真空腔体内【nèi】部特定过程相关气体的污染水平或动态波动，并及时提醒用户可能产生的潜在风险，提升产【chǎn】品良品率。
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产品概述 产品特点 应用领域
产品概述
ProRGA-7000是聚【jù】光科技基于质谱分析技术平台开发的一款高性能残余气体分析仪，用于检测特定真空区域内【nèi】关键气体分压，适用于真空度10Pa到常压应用场合。具有毫秒级响应速度和ppb级的灵敏度，非常适合检测真空泄露状态，如电池、半导体、冻干机等真空腔体内部特定过程相关气体的污染水平或动态波动，并及时提醒【xǐng】用户可能产生的潜在风险，提升产【chǎn】品良品率。
产品特点
●检测效率高
支持多个标记物同时检测，单组分检测时间小于0.5S。
●真空适应性强
适用于真空度10Pa到常压应用场合下ppb级残余气体分析。
●设计紧凑
采用模块化设计、结构简单、尺寸小巧，可以方便嵌入生产工艺中。
●自动校准
具备自动校准功能，消除传感器运行漂移，确保长期数据稳定性。
●智能诊断
功能强大的残余气体专用分析软件，具备自动标定【dìng】、数据处理、仪器调谐和方法开发等多种功能，并集成诊【zhěn】断工具，随时监控仪器及工艺参数状态。
应用领域
电池、半导体、冻干机等行业
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