SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统
SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处理子系统、气体监测子系统以及辅助设备和数据采集与处理子系统等【děng】构成，如下图所示。
采样预处【chù】理子系统由多路样气传输管、采样泵和分【fèn】布式多通道采样仪组成，可以对多个点位进行不间断实时采样，并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。
气体监测子系统由多个分析仪组成，可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配，实现不同物质的在线监测。
辅助系统由集成机柜和校准单元组成，可以保证整套系统的正常运行，校准单元可以定期对系统【tǒng】进行校准，保证监测数据的稳定和准确【què】。
数据采集与处理子系统可以监控查询所有测量信息和系统工作状态信息，并将监测数据传输至企业的中控平台。
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